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□记者 张海峰 贺莹莹 报道
技术人员正在观察单晶硅生长情况。 |
德州攻坚看行动·优化营商环境
□ 本报记者 张海峰 贺莹莹
本报通讯员 赵庆川 李禄超
8月31日下午，一场风雨后，天空挂出了一道绚丽的彩虹。记者来到德州经济技术开发区山东有研半导体材料有限公司，在更衣室穿上洁净服后，进入对空气洁净程度要求非常高的单晶制备厂房。
在1号直拉单晶炉前，透过观察孔的防护玻璃罩可以看到，一根新拉制的8英寸硅单晶棒正在进行生长，触摸玻璃能感受到它的热度。“直径越大，加工工艺越难，效益也越高。前几天，就是在这个炉中首根8英寸直拉硅单晶能够一次性拉制成功，这是很不容易的。”车间主任李英涛自豪地向记者介绍，“一根硅单晶棒的一个完整制备周期通常需要70小时左右，像炉中这根硅棒已经经历了65小时的制备时间。经过极为精密的智能控制，生长出目标直径的硅单晶圆棒，单晶电阻率需要调控到毫欧姆·厘米水平。”记者看到，拉制成的硅单晶棒经过处理后就进入硅片加工车间，再经过切片、倒角、研磨、贴片、抛光、清洗、测试、封装等多道工序制成硅抛光片，成为集成电路制造过程中重要的基础材料。
山东有研半导体材料有限公司负责生产的副总经理刘斌介绍：“项目建设周期比预计提前了半年左右时间，新工厂、新设备，一次成晶、完整到底，首战告捷为下一步的硅片规模化生产打下坚实基础，这让我们对山东有研的未来充满期待！”
厂房旁边是企业建设的数字展馆，记载着有研半导体的光荣梦想，也展现了山东有研的雄心壮志，“立志解决集成电路用大尺寸硅材料‘卡脖子’问题，为山东省新旧动能转换作贡献”字样在大屏幕上闪现。作为央企有研科技集团有限公司（原北京有色金属研究总院）旗下核心企业，有研半导体材料有限公司曾创造了多个国内第一，1992年、1995年、1997年和2002年分别制成国内第一根直径6英寸、8英寸、12英寸、18英寸直拉硅单晶，在国内率先实现了8英寸硅片的规模化生产。这次在德州，集成电路用8英寸直拉硅单晶拉制成功也是创造了山东省的“第一根”，该尺寸半导体级单晶硅片也首次实现了“山东造”，是我省集成电路产业的一项重要突破。
山东有研半导体材料有限公司《集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目》2018年6月在“央企助力山东新旧动能转换座谈会上”签订战略合作协议落户德州，在2019年山东省重点项目名单中位列第一，入选省新旧动能转换重大项目库。2019年3月动工，一期项目总投资18亿元，建设包括年产276万片8英寸硅片、180万片6英寸硅片、300吨12-18英寸大直径硅单晶生产线。二期12英寸集成电路用大硅片项目也在积极筹备，计划明年开工建设。
谈到落户德州经开区的过程，刘斌向记者讲了一段轶事。2018年，面临生产基地搬迁的有研半导体经过事先多次接洽，在环京一小时生活圈初选了三个厂址。五一假期中，企业高管和中层骨干全体出动，来到三地对交通区位、产业基础、职业教育、自然和人文环境、物价房价等等进行综合考察，考察结束后大家投票，结果德州经开区获得了绝大多数人的支持。“德州的诚意和环境最终打动我们。”
事实也证明，有研半导体选择山东选择德州经开区是正确的。德州把工作专班建在施工一线，“一周双会”现场协调，“双线并行”预审减环节、提效率，提前15天完成土地清场，调整土地性质兼容工业用途，积极争取土地利用指标329亩，项目施工时间比计划提前2个月。去年冬天开辟绿色通道，科学确定优化施工方案，项目继而成为今年春节和疫情防控期间全市唯一没有停工的工地，点对点接回外地技术人员和工人，确保项目建设进度。成立有研项目基金，省市区三级引导基金出资8亿元，引导社会资本出资12亿元，是全省第一个批复设立的新旧动能转换项目基金。德州市政府专门出台《关于加快集成电路产业发展的实施意见》，对总投资超过10亿元的集成电路项目，市财政给予不超过实际投入15%、最高3亿元的补贴。德州职业技术学院等紧密对接项目需求，开设晶体生长、硅材料加工、半导体材料检测等课程，每年可为企业输送专业技术工人200余人。在中元科技创新创业园免费提供办公和住宿场所，在另一地块先期建设为总面积一半的4栋5万平方米公寓楼，今年12月底可交付使用，为职工发放交通补贴，组织开展“探寻德州”等活动，丰富项目职工业余生活等等。山东有研半导体材料有限公司负责项目建设的副总经理常青由衷表示，有研近60年积累的科技创新之树，扎根山东德州这方沃土，即将开出高质量发展的产业之花！
特别值得关注的是，半导体项目落地后，有研集团继续布局德州。2019年集团旗下上市公司有研新材(600206)在调研多地后，确定将有研新材创新及成果转化基地落地德州乐陵，今年4月27日项目在乐陵市循环经济示范园奠基。8月27日上午，记者在现场看到，项目11栋主体建筑已经封顶。负责项目建设的有研新材战略管理办公室主任李扩社介绍，项目重点围绕国家重大战略需求，旨在建成具有国际先进水平的新材料研发及产业化平台，建设超高纯稀有金属及化合物、稀土功能材料、高端晶体材料及器件9条生产线，涵盖企业电磁光板块主营业务，重点研发集成电路、智能制造等领域急需关键材料及产业化制备技术，均代表了我国在相关领域的最高技术水平，预计2021年6月份投产，未来将以基地为依托，加快更多、更好的新材料成果转化项目落地。
记者还注意到，近期有研集团高层多次造访山东德州。8月26日下午，该集团党委书记、董事长赵晓晨，副总经理王臣、李彦利到有研半导体德州基地调研；8月12日，该集团党委副书记、总经理熊柏青到有研半导体德州基地调研并为德州干部作专题辅导报告；6月10日，该集团党委副书记张世荣、副总经理李彦利到有研半导体德州基地、有研新材乐陵基地等山东项目调研。赵晓晨对德州市委市政府及建设单位等表示感谢，表示德州项目克服疫情、搬迁等重重困难，实现了阶段性胜利。有研集团将半导体硅片生产基地迁入德州，并启动12英寸硅片项目，符合国家扩大内循环的战略方向，也是有研集团历史上的重要项目。希望有研半导体在安全、稳步推动搬迁工作的前提下，着力抓好市场认证与市场开拓，早日达产并实现销售。
两年前，全省新旧动能转换重大工程“十强”产业中《山东省新一代信息技术产业专项规划（2018-2022年）》《山东省新材料产业发展专项规划(2018-2022年)》分别发布，提出推动德州集成电路用硅片项目建设，尽快形成6英寸、8英寸以及12英寸硅片生产制造能力；以济南、德州等为中心，建设国内领先、国际先进的碳化硅半导体产业和光电子产业集群。显然，有研德州基地的强势崛起，为德州集成电路特别是该领域新材料产业的发展壮大增添了重重砝码。
□ 本报记者 张海峰 贺莹莹
本报通讯员 赵庆川 李禄超
8月31日下午，一场风雨后，天空挂出了一道绚丽的彩虹。记者来到德州经济技术开发区山东有研半导体材料有限公司，在更衣室穿上洁净服后，进入对空气洁净程度要求非常高的单晶制备厂房。
在1号直拉单晶炉前，透过观察孔的防护玻璃罩可以看到，一根新拉制的8英寸硅单晶棒正在进行生长，触摸玻璃能感受到它的热度。“直径越大，加工工艺越难，效益也越高。前几天，就是在这个炉中首根8英寸直拉硅单晶能够一次性拉制成功，这是很不容易的。”车间主任李英涛自豪地向记者介绍，“一根硅单晶棒的一个完整制备周期通常需要70小时左右，像炉中这根硅棒已经经历了65小时的制备时间。经过极为精密的智能控制，生长出目标直径的硅单晶圆棒，单晶电阻率需要调控到毫欧姆·厘米水平。”记者看到，拉制成的硅单晶棒经过处理后就进入硅片加工车间，再经过切片、倒角、研磨、贴片、抛光、清洗、测试、封装等多道工序制成硅抛光片，成为集成电路制造过程中重要的基础材料。
山东有研半导体材料有限公司负责生产的副总经理刘斌介绍：“项目建设周期比预计提前了半年左右时间，新工厂、新设备，一次成晶、完整到底，首战告捷为下一步的硅片规模化生产打下坚实基础，这让我们对山东有研的未来充满期待！”
厂房旁边是企业建设的数字展馆，记载着有研半导体的光荣梦想，也展现了山东有研的雄心壮志，“立志解决集成电路用大尺寸硅材料‘卡脖子’问题，为山东省新旧动能转换作贡献”字样在大屏幕上闪现。作为央企有研科技集团有限公司（原北京有色金属研究总院）旗下核心企业，有研半导体材料有限公司曾创造了多个国内第一，1992年、1995年、1997年和2002年分别制成国内第一根直径6英寸、8英寸、12英寸、18英寸直拉硅单晶，在国内率先实现了8英寸硅片的规模化生产。这次在德州，集成电路用8英寸直拉硅单晶拉制成功也是创造了山东省的“第一根”，该尺寸半导体级单晶硅片也首次实现了“山东造”，是我省集成电路产业的一项重要突破。
山东有研半导体材料有限公司《集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目》2018年6月在“央企助力山东新旧动能转换座谈会上”签订战略合作协议落户德州，在2019年山东省重点项目名单中位列第一，入选省新旧动能转换重大项目库。2019年3月动工，一期项目总投资18亿元，建设包括年产276万片8英寸硅片、180万片6英寸硅片、300吨12-18英寸大直径硅单晶生产线。二期12英寸集成电路用大硅片项目也在积极筹备，计划明年开工建设。
谈到落户德州经开区的过程，刘斌向记者讲了一段轶事。2018年，面临生产基地搬迁的有研半导体经过事先多次接洽，在环京一小时生活圈初选了三个厂址。五一假期中，企业高管和中层骨干全体出动，来到三地对交通区位、产业基础、职业教育、自然和人文环境、物价房价等等进行综合考察，考察结束后大家投票，结果德州经开区获得了绝大多数人的支持。“德州的诚意和环境最终打动我们。”
事实也证明，有研半导体选择山东选择德州经开区是正确的。德州把工作专班建在施工一线，“一周双会”现场协调，“双线并行”预审减环节、提效率，提前15天完成土地清场，调整土地性质兼容工业用途，积极争取土地利用指标329亩，项目施工时间比计划提前2个月。去年冬天开辟绿色通道，科学确定优化施工方案，项目继而成为今年春节和疫情防控期间全市唯一没有停工的工地，点对点接回外地技术人员和工人，确保项目建设进度。成立有研项目基金，省市区三级引导基金出资8亿元，引导社会资本出资12亿元，是全省第一个批复设立的新旧动能转换项目基金。德州市政府专门出台《关于加快集成电路产业发展的实施意见》，对总投资超过10亿元的集成电路项目，市财政给予不超过实际投入15%、最高3亿元的补贴。德州职业技术学院等紧密对接项目需求，开设晶体生长、硅材料加工、半导体材料检测等课程，每年可为企业输送专业技术工人200余人。在中元科技创新创业园免费提供办公和住宿场所，在另一地块先期建设为总面积一半的4栋5万平方米公寓楼，今年12月底可交付使用，为职工发放交通补贴，组织开展“探寻德州”等活动，丰富项目职工业余生活等等。山东有研半导体材料有限公司负责项目建设的副总经理常青由衷表示，有研近60年积累的科技创新之树，扎根山东德州这方沃土，即将开出高质量发展的产业之花！
特别值得关注的是，半导体项目落地后，有研集团继续布局德州。2019年集团旗下上市公司有研新材(600206)在调研多地后，确定将有研新材创新及成果转化基地落地德州乐陵，今年4月27日项目在乐陵市循环经济示范园奠基。8月27日上午，记者在现场看到，项目11栋主体建筑已经封顶。负责项目建设的有研新材战略管理办公室主任李扩社介绍，项目重点围绕国家重大战略需求，旨在建成具有国际先进水平的新材料研发及产业化平台，建设超高纯稀有金属及化合物、稀土功能材料、高端晶体材料及器件9条生产线，涵盖企业电磁光板块主营业务，重点研发集成电路、智能制造等领域急需关键材料及产业化制备技术，均代表了我国在相关领域的最高技术水平，预计2021年6月份投产，未来将以基地为依托，加快更多、更好的新材料成果转化项目落地。
记者还注意到，近期有研集团高层多次造访山东德州。8月26日下午，该集团党委书记、董事长赵晓晨，副总经理王臣、李彦利到有研半导体德州基地调研；8月12日，该集团党委副书记、总经理熊柏青到有研半导体德州基地调研并为德州干部作专题辅导报告；6月10日，该集团党委副书记张世荣、副总经理李彦利到有研半导体德州基地、有研新材乐陵基地等山东项目调研。赵晓晨对德州市委市政府及建设单位等表示感谢，表示德州项目克服疫情、搬迁等重重困难，实现了阶段性胜利。有研集团将半导体硅片生产基地迁入德州，并启动12英寸硅片项目，符合国家扩大内循环的战略方向，也是有研集团历史上的重要项目。希望有研半导体在安全、稳步推动搬迁工作的前提下，着力抓好市场认证与市场开拓，早日达产并实现销售。
两年前，全省新旧动能转换重大工程“十强”产业中《山东省新一代信息技术产业专项规划（2018-2022年）》《山东省新材料产业发展专项规划(2018-2022年)》分别发布，提出推动德州集成电路用硅片项目建设，尽快形成6英寸、8英寸以及12英寸硅片生产制造能力；以济南、德州等为中心，建设国内领先、国际先进的碳化硅半导体产业和光电子产业集群。显然，有研德州基地的强势崛起，为德州集成电路特别是该领域新材料产业的发展壮大增添了重重砝码。